Concepito per reattori single-wafer con portata di 200 slpm di H 2 nominali, accetta anche processi di Nitrurazione con opzionale correzione di pH. Il principio di funzionamento è esclusivamente ad umido a tre stadi di abbattimento: l'exhaust è normalmente atmosferico, ma permette la compressione dei gas per innescare la rifinizione dell'Idrogeno al recupero. Ha le parti attive e soggette a manutenzione tutte ad accesso frontale; questo ed il basso ingombro in pianta permettono l'affiancamento di più unità in moduli compatti in Grey Area o all'esterno.