Scrubber e cappe umide
in microelettronica

La purezza dell'aria che respiriamo non è importante solo per la nostra salute, ma anche per la qualità dei processi che un sistema di depurazione di gas assiste: che sia un reattore epitassiale, una cappa di Wet Etch/Rinse/Dry, un sistema di deposizione PECVD, un forno per diffusione.

I nostri sistemi uniscono all'elevata efficienza di abbattimento la flessibilità del controllo in tempo reale delle variabili portata/pressione richieste dall'ambiente di lavoro.