Dosaggio di Miscele Etch In molti processi di etching vengono utilizzate miscele come DHF, SC1, SC2 etc. che vengono immesse nei tanks dopo che il bagno esistente è esaurito: ciò comporta il tempo di preparazione più il tempo di termostatazione del nuovo bagno. Con i nostri dosatori il bagno (sia in miscela che puro) viene dosato in modo gravimetrico nell'esatta quantità richiesta dal process tank con la risoluzione di 2 gr, termostatato entro +/- 1 °C, ricircolato con filtrazione a 0.1 µm: il downtime è limitato quindi solo al pompaggio nel tank. L'unità si basa su una bilancia digitale, supportante il serbatoio di dosaggio, la pompa di riciclo con filtro ed invio nel tank, l'unità di termostatazione; nel cabinet in Polipropilene sono alloggiate anche le valvole di dosaggio ed il terminale locale di programmazione. Generalmente previsto per allacciamento diretto con CDS, per chemicals di basso consumo ogni cabinet può essere affiancato da moduli a 1-2 fustini fino a 25 lt: il prelievo viene effettuato dalla pompa di riciclo. I materiali a contatto del liquido sono PTFE e PFA, i componenti elettropneumatici sono in sezione stagna flussata in Azoto, entrambe le sezioni sono sotto aspirazione: solo la bilancia è in Grey Area.

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